MeX从SEM到光学三维表面测量系统

MeX将任何SEM变成一个光学3D测量系统

MeX是一个独立的软件包,将任何带有数字成像的SEM变成一个真正的表面计量设备。通过使用立体图像,该软件自动检索三维信息,并提出一个高度准确、稳健和密集的三维数据集,然后用来进行可追溯的计量检查。

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使用MeX的可能性是什么

高度和粗糙度测量
高度和粗糙度测量

轮廓测量可以实现试样的虚拟切割。用户在光学图像上定义一个路径,并收到相应的三维轮廓。粗糙度和轮廓测量符合公认的国际EN ISO标准,如4287/4288。轮廓分析也允许拟合基元,如圆、角或其他。

数量分析
数量分析

体积分析可以计算出空隙和突起的体积。测量区域直接在光学图像上定义。体积是通过对肥皂膜模型的计算来确定的。对于所选区域的三维边界,MeX计算出一个像肥皂膜一样的覆盖表面。

面积测量
面积测量

面积分析提供了对一个表面的Sa、Sq和Sz的测定。粗糙度、波浪度和用户定义的表面斑块的分形尺寸等参数可以实现。MeX自动计算ISO符合性分析。对于表面的视觉表现,可以使用灰度或伪彩色的深度图。也可以显示ISO-线来突出深度变化。

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