InfiniteFocus
Optische Mikrokoordinatenmesstechnik und Rauheitsmessung in einem System
Das Spektrum von messbaren Oberflächen und Materialien ist nahezu unbegrenzt. Anwender messen Mikro- und Präzisionskomponenten mit nur einem multifunktionalen Sensor hochauflösend, rückführbar und in hoher Wiederholgenauigkeit. Die stabile Technologie der Fokus-Variation in Kombination mit dem schwingungsisolierten Aufbau ermöglicht die Messung von Rauheit und Form auch auf großen, schweren Bauteilen. InfiniteFocus wird in Kombination mit einem Automatisierungsinterface auch in der Produktion zur automatisierten Messung und Auswertung eingesetzt.
Technische Spezifikationen
| Messprinzip | berührungslos, optisch, dreidimensional, basierend auf Fokus-Variation |
| Positioniervolumen (X x Y x Z) | 100 mm x 100 mm x 100 mm = 1000000 mm3 (optional: 200 mm x 200 mm x 100 mm = 4000000 mm³) |
| Objektivvergrößerung | 2.5x | 5x | 10x HX | 10x | 20x HX | 20x | 50x | 100x | |
| Arbeitsabstand | mm | 8.8 | 23.5 | 37 | 17.5 | 30 | 19 | 11 | 4.5 |
|
Lateraler Messbereich (X,Y) (X x Y) |
mm mm² |
5.63 31.7 |
2.82 7.85 |
1.62 2.62 |
1.62 2.62 |
0.7 0.49 |
0.81 0.66 |
0.32 0.10 |
0.16 0.03 |
| Vertikale Auflösung | nm | 2300 | 410 | 250 | 100 | 80 | 50 | 20 | 10 |
| Messgenauigkeit Stufenhöhe (1 mm) | % | n.a. | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
|
Max. messbare Fläche Optional |
mm² mm² |
10000 40000 |
10000 40000 |
10000 40000 |
10000 40000 |
10000 24780 |
10000 24780 |
3965 3965 |
990 990 |
| Min. messbare Rauheit (Ra) | µm | 7 | 1.2 | 0.75 | 0.3 | 0.24 | 0.15 | 0.06 | 0.03 |
| Min. messbare Rauheit (Sa) | µm | 3.5 | 0.6 | 0.375 | 0.15 | 0.12 | 0.075 | 0.03 | 0.015 |
| Min. messbarer Radius | µm | 20 | 10 | 5 | 5 | 3 | 3 | 2 | 1 |
Weitere Spezifikationen und Informationen finden Sie im Produktdatenblatt.
Hohe Messpunktdichte
Bis zu 500 Millionen Messpunkte sorgen für eine detailgenaue Messung mit Toleranzen im Bereich von μm und sub-μm bei großem Arbeitsabstand. Die hohe Messpunktdichte der Fokus-Variation ermöglicht eine gleichbleibend hohe laterale und vertikale Auflösung über große Messvolumina.
Steile Flanken über großen Scan-Bereich messen
Licht aus verschiedenen Richtungen beeinflusst die Messung positiv. Der maximal messbare Flankenwinkel ist nicht durch die numerische Apertur der Optik beschränkt. Das ermöglicht die Messung von Oberflächengeometrien mit Flankenwinkeln von bis zu 87°.
Vollständige Formmessung mit Real3D
Mit Real3Dmessen Anwender Oberflächen aus zahlreichen Perspektiven. Einzelne Messungen werden automatisch zu einem vollständigen 3D-Datensatz zusammengeführt. Hochpräzise und kalibrierte Dreh- und Schwenkachsen sorgen für eine automatisierte, wiederholbare und rückführbare Messung am gesamten Messobjekt.
Focus-Variation Technology
Die Fokus-Variation ist ein flächenbasiertes Verfahren zur optischen, hochauflösenden 3D Oberflächenmessung im Mikro- und Nanobereich. Die Technologie kombiniert die Funktionalitäten eines Rauheitsmessgeräts und eines Koordinatenmesssystems. Genutzt wird die geringe Tiefenschärfe einer Optik, um die Tiefeninformation einer Probe zu extrahieren.
