Vertical Focus Probing di fianchi verticali con angolo superiore a 87°

Gli strumenti di misura ottici basati sulla Focus-Variation consentono di misurare geometrie complesse di microcampioni. Finora, queste misure erano piuttosto limitate quando si trattava di microfori o finachi verticali con angoli superiori a 87°. In passato, per misurare due pareti verticali opposte di un oggetto, l'oggetto doveva essere articolato rispetto al sensore.

In questo articolo verrà presentato per la prima volta il principio di misura del Vertical Focus Probing, compreso il suo impatto sugli esempi di applicazione nella metrologia dimensionale. Il Vertical Focus Probing è una tecnologia di misura puramente ottica. Consente di misurare pareti verticali e microfori direttamente senza articolare il campione durante la misurazione. Questa tecnologia consente di misurare in 3D microfori con un rapporto diametro/profondità di 1:10 e diametri da 0,1 mm a 2 mm, nonché pareti verticali con un angolo di inclinazione superiore a 90°. In questo modo, l'ispezione laterale, conosciuta nel mondo tattile, non è più limitata agli strumenti di misura tattili.

Autori:
Zangl, Kerstin; Danzl, Reinhard; Helmli, Franz. (2019). 
Titolo originale: Vertical Focus Probing and the use in Dimensional Metrology. 10.13140/RG.2.2.11917.59364.

Sondaggio ottico laterale di pendii verticali con angolo superiore a 87°