MeX

MEX trasforma qualsiasi SEM in un dispositivo di misura 3D

MeX è un pacchetto software indipendente che trasforma qualsiasi SEM con imaging digitale in un vero e proprio dispositivo di metrologia delle superfici. Utilizzando immagini stereoscopiche, il software recupera automaticamente le informazioni 3D e visualizza un dataset 3D molto accurato, denso e robusto che viene poi utilizzato per eseguire indagini metrologiche tracciabili. I risultati sono ottenuti indipendentemente dall'ingrandimento SEM e consentono una metrologia a livelli macro e micro. Non è necessario alcun hardware aggiuntivo per eseguire MeX, può essere utilizzato con qualsiasi SEM. Grazie all'esclusiva routine di autocalibrazione, i dati di calibrazione vengono raffinati automaticamente. In questo modo solo MeX consente di effettuare misurazioni 3D tracciabili a qualsiasi ingrandimento nel SEM.

 

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Misura di altezza e rugosità

La misurazione del profilo consente il taglio virtuale del campione. L'utente amministratore definisce un percorso sull'immagine e riceve il profilo 3D corrispondente. Le misure di rugosità e contorno sono conformi alle norme internazionali EN ISO 4287/4288. L'analisi del profilo permette anche l’adattamento di primitive quali cerchi, angoli o altro.

L'analisi del volume

L'analisi del volume calcola il volume dei vuoti e delle sporgenze. L'area di misura è definita direttamente sull'immagine. Il volume è determinato attraverso il calcolo di un modello soap film. Per il confine 3D dell'area selezionata MeX calcola una superficie di copertura che si comporta come una soap film.

L'analisi di area

L'analisi dell'area fornisce la determinazione di Sa, Sq e Sz relative ad una superficie. Si possono determinare parametri quali la rugosità, l'ondulazione e la dimensione frattale delle aree di superficie definite dall'utente. MeX calcola automaticamente l'analisi di conformità ISO. Per la rappresentazione visiva della superficie è possibile utilizzare una scala di grigi o una mappa altimetrica in pseudo colore. È anche possibile visualizzare le linee ISO per evidenziare le variazioni di profondità.

Variazione di Fuoco

I sistemi di misura Alicona sono basati sulla tecnologia della variazione di fuoco, ed uniscono le potenzialità degli strumenti di misura della rugosità superficiale a quelli dei sistemi per la misura della forma. Ogni sistema Alicona è in grado di misurare superfici, rugosità, forma e superficiale geometrie 3D e micro coordinate.La variazione di fuoco combina la ridotta profondità di fuoco di un sistema ottico con la scansione verticale e fornisce informazioni topografiche e di colore sulla base della modifica della messa a fuoco. Il componente principale del sistema è un’ottica di precisione che contiene vari sistemi di lenti e che può essere dotata di vari obiettivi, consentendo misurazioni con una risoluzione diversa.