Optisches Messsystem für schnelle Oberflächenmessungen
InfiniteFocusSL
InfiniteFocusSL ist ein kostengünstiges optisches 3D Messsystem zur einfachen, rückführbaren und schnellen Oberflächenmessung. Anwender messen die Form plus die Rauheit von mikrostrukturierten Oberflächen ihrer Bauteile mit nur einem Gerät. Zusätzlich liefert InfiniteFocusSL brillante Farbbilder mit hohem Kontrast und Schärfentiefe. Der hohe Arbeitsabstand in Kombination mit einem überdurchschnittlich großen Messfeld und hoher Messgeschwindigkeit bietet universelle Einsatzmöglichkeiten. InfiniteFocusSL wird mit einem entsprechenden Automatisierungs-Interface auch in der Produktion zur automatisierten Oberflächenmessung und Auswertung eingesetzt.
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Technische Spezifikationen | InfiniteFocusSL
| Messprinzip | berührungslos, optisch, dreidimensional, basierend auf Fokus-Variation |
| Positioniervolumen (X x Y x Z) |
RL Objektive: mot.: 50 mm x 50 mm x 155 mm (Z: 25 mm mot., 130 mm man.) = 387500 mm³ SXRL/AXRL Objektive: mot.: 50 mm x 50 mm x 120 mm (Z: 25 mm mot., 95 mm man.) = 300000 mm³ |
| Objektivvergrößerung | 10x | 20x | 50x | 2xSX | 4xAX* | 5xAX | 10xAX | 20xAX | 50xSX | |
| Arbeitsabstand | mm | 17.5 | 16 | 10.1 | 34 | 30 | 34 | 33.5 | 20 | 13 |
|
Lateraler Messbereich (X,Y) (X x Y) |
mm mm² |
2 4 |
1 1 |
0.4 0.16 |
10 100 |
4.87 23.72 |
3.61 13.03 |
2 4 |
1 1 |
0.4 0.16 |
| Vertikale Auflösung | nm | 100 | 50 | 20 | 3500 | 620 | 460 | 130 | 70 | 45 |
| Messgenauigkeit Stufenhöhe (1 mm) | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| Max. messbare Fläche | mm² | 2500 | 2500 | 2500 | 2500 | 2500 | 2500 | 2500 | 2500 | 2500 |
| Min. messbare Rauheit (Ra) | µm | 0.3 | 0.15 | 0.08 | n.a. | n.a. | n.a. | 0.45 | 0.25 | 0.15 |
| Min. messbare Rauheit (Sa) | µm | 0.15 | 0.075 | 0.05 | n.a. | n.a. | n.a. | 0.25 | 0.1 | 0.08 |
| Min. messbarer Radius | µm | 5 | 3 | 2 | 20 | 12 | 10 | 5 | 3 | 2 |
| Verfügbar ab Q2 2021 |
Für weitere Informationen laden Sie sich bitte hier das Produktdatenblatt herunter oder senden Sie uns eine direkte Anfrage.
Hohe Messpunktdichte
Bis zu 500 Millionen Messpunkte sorgen für eine detailgenaue Messung mit Toleranzen im Bereich von μm und subμm bei großem Arbeitsabstand. Die hohe Messpunktdichte der Fokus-Variation ermöglicht eine gleichbleibend hohe laterale und vertikale Auflösung über große Messvolumina.
Steile Flanken über großen Scan-Bereich messen
Licht aus verschiedenen Richtungen beeinflusst die Messung positiv. Der maximal messbare Flankenwinkel ist nicht durch die numerische Apertur der Optik beschränkt. Das ermöglicht die Messung von Oberflächengeometrien mit Flankenwinkeln von bis zu 87°.
Vollständige Formmessung mit Real3D
Mit Real3Dmessen Anwender Oberflächen aus zahlreichen Perspektiven. Einzelne Messungen werden automatisch zu einem vollständigen 3D-Datensatz zusammengeführt. Hochpräzise und kalibrierte Dreh- und Schwenkachsen sorgen für eine automatisierte, wiederholbare und rückführbare Messung am gesamten Messobjekt.
Focus-Variation Technology
Die Fokus-Variation ist ein flächenbasiertes Verfahren zur optischen, hochauflösenden 3D Oberflächenmessung im Mikro- und Nanobereich. Die Technologie kombiniert die Funktionalitäten eines Rauheitsmessgeräts und eines Koordinatenmesssystems. Genutzt wird die geringe Tiefenschärfe einer Optik, um die Tiefeninformation einer Probe zu extrahieren.
