InfiniteFocus
Misura ottica a micro coordinate e misure di finitura superficiale in un unico sistema
Gli utenti beneficiano di una macchina di misura 3D a micro coordinate e di un dispositivo di misurazione della rugosità superficiale combinati in un unico sistema. Gli utenti ottengono risultati di misura tracciabili con un'elevata ripetibilità e una risoluzione verticale fino a 10 nm. Il robusto principio di misura della variazione di fuoco in combinazione con un sistema di isolamento dalle vibrazioni consente la misura della forma e della rugosità anche di componenti pesanti e di grandi dimensioni. Tutti gli assi di InfiniteFocus sono dotati di encoders ad alta precisione che garantiscono un movimento preciso del tavolo portacampione. Grazie all'interfaccia di automazione, InfiniteFocus è inoltre utilizzato per le misure totalmente automatiche in produzione.
Specifiche techniche
| Principio di misura | non a contatto, ottico, tridimensionale, basato sulla variazione di fuoco |
| Volume di posizionamento (X x Y x Z) | 100 mm x 100 mm x 100 mm = 1000000 mm3 (opzionale: 200 mm x 200 mm x 100 mm = 4000000 mm³) |
| Ingrandimento obiettivo | 2.5x | 5x | 10x HX | 10x | 20x HX | 20x | 50x | 100x | |
| Distanza di lavoro | mm | 8.8 | 23.5 | 37 | 17.5 | 30 | 19 | 11 | 4.5 |
|
Campo di misura laterale (X,Y) (X x Y) |
mm mm² |
5.63 31.7 |
2.82 7.85 |
1.62 2.62 |
1.62 2.62 |
0.7 0.49 |
0.81 0.66 |
0.32 0.10 |
0.16 0.03 |
| Risoluzione verticale | nm | 2300 | 410 | 250 | 100 | 80 | 50 | 20 | 10 |
| Accuratezza di misura di altezza (1 mm) | % | n.a. | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
|
Max. area misurabile Opzionale |
mm² mm² |
10000 40000 |
10000 40000 |
10000 40000 |
10000 40000 |
10000 24780 |
10000 24780 |
3965 3965 |
990 990 |
| Min. rugosità misurabile (Ra) | µm | 7 | 1.2 | 0.75 | 0.3 | 0.24 | 0.15 | 0.06 | 0.03 |
| Min. rugosità misurabile (Sa) | µm | 3.5 | 0.6 | 0.375 | 0.15 | 0.12 | 0.075 | 0.03 | 0.015 |
| Min. raggio misurabile | µm | 20 | 10 | 5 | 5 | 3 | 3 | 2 | 1 |
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Alta densità dei punti di misura
L'elevato dettaglio della misura è garantito dall'elevato numero di punti di misura, fino a 500 millioni. Ciò conosente di misurare tolleranze micro- e sub micrometriche anche con elevate distanze di lavoro. L'alta densità dei punti di misura della variazione di fuoco permette di mantenere costantemente elevati la risoluzione laterale e verticale, anche su volumi di misura elevati.
Fianchi inclinati
La luce multidirezionale è fondamentale per la buona riuscita delle misure. L’angolo massimo misurabile non viene così ridotto dall’apertura numerica della lente. Ciò consente la misurazione di geometrie superficiali aventi dei fianchi con angoli fino a 87°.
Misurazione di sottosquadri
Con Real3D, gli utenti misurano i loro componenti da ogni possibile prospettiva diversa. Sezioni diverse sono misurate in 3D e raccolte automaticamente in un file di dati 3D completo. Assi di
rotazione e di inclinazione calibrati ed altamente precisi consentono la misurazione della forma e della rugosità dell’intero oggetto da misurare completamente automatica, ripetibile e tracciabile.
Variazione di Fuoco
I sistemi di misura Alicona sono basati sulla tecnologia della variazione di fuoco, ed uniscono le potenzialità degli strumenti di misura della rugosità superficiale a quelli dei sistemi per la misura della forma. Ogni sistema Alicona è in grado di misurare superfici, rugosità, forma e superficiale geometrie 3D e micro coordinate. La variazione di fuoco combina la ridotta profondità di fuoco di un sistema ottico con la scansione verticale e fornisce informazioni topografiche e di colore sulla base della modifica della messa a fuoco. Il componente principale del sistema è un’ottica di precisione che contiene vari sistemi di lenti e che può essere dotata di vari obiettivi, consentendo misurazioni con una risoluzione diversa.
