Vom REM zum
optischen 3D Oberflächenmesssystem
MeX
MeX ist eine Software, mit der Ihr REM zu einem vollautomatischen 3D Oberflächenmessgerät wird. Basierend auf Stereobildern, die durch einfaches Verkippen generiert werden, erzeugt MeX vollautomatisch einen 3D Datensatz zur 3D Oberflächenmessung und Visualisierung einer Probe. Der Anwender realisiert mit der Software 3D Oberflächenmessungen im Mikro- und Makrobereich. MeX braucht keine zusätzliche Hardware und ist für jedes REM geeignet. Mit der einzigartigen AutoCalibration Routine werden die Kalibrierdaten automatisch verfeinert. Damit ermöglicht MeX als einziges Softwareprodukt rückführbare 3D Messungen bei jeder Vergrößerung im REM.
Für weitere Informationen laden Sie sich bitte hier das Produktdatenblatt herunter oder senden Sie uns eine direkte Anfrage.
Höhen- und Rauheitsmessung
Mit der Profilanalyse werden Oberflächen virtuell durchgeschnitten und Höhenprofile extrahiert. Der Benutzer definiert den gewünschten Profilpfad direkt im optischen Bild und erhält ein korrespondierendes 3D Profil. Rauheit und Kontur werden gemäß ISO Standards wie 4287/4288 gemessen. Die Profilanalyse ermöglicht außerdem das Einpassen von einfachen geometrischen Formen wie Kreise, Winkel und andere.
Volumenanalyse
Mit der Volumenanalyse wird das Volumen von Vertiefungen und Vorsprüngen berechnet. Die Messfläche wird dabei direkt im optischen Bild spezifiziert. Das Volumen wird durch eine minimal spannende Fläche begrenzt der ein Seifenfilm-Modell zugrunde liegt.
Flächenanalyse
Die Flächenanalyse berechnet verschiedene Flächenparameter wie Sa, Sq und Sz. Zudem werden Parameter wie Rauheit, Welligkeit oder fraktale Dimension ermittelt. Per Mausklick definiert der Benutzer seine ROI (Region of Interest). MeX berechnet die Fläche schnell, mit höchster Genauigkeit und ISO konform. Für die Visualisierung der Oberfläche können die Höhenwerte als Grauwerte oder in Falschfarben kodiert werden.
Fokus-Variation Technologie
Die Fokus-Variation ist ein flächenbasiertes Verfahren zur optischen, hochauflösenden 3D Oberflächenmessung im Mikro- und Nanobereich. Die Technologie kombiniert die Funktionalitäten eines Rauheitsmessgeräts und eines Koordinatenmesssystems. Genutzt wird die geringe Tiefenschärfe einer Optik, um die Tiefeninformation einer Probe zu extrahieren.
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