InfiniteFocusSL

So schnell und einfach kann 3D messen sein

InfiniteFocusSL ist ein kostengünstiges optisches 3D Messsystem zur einfachen, schnellen und rückführbaren Messung von mikrostrukturierten Oberflächen. Anwender messen die Form plus die Rauheit ihrer Bauteile mit nur einem Gerät. Zusätzlich liefert InfiniteFocusSL brillante Farbbilder mit hohem Kontrast und Schärfentiefe. Der hohe Arbeitsabstand in Kombination mit einem überdurchschnittlich großen Messfeld und hoher Messgeschwindigkeit bietet universelle Einsatzmöglichkeiten. InfiniteFocusSL wird mit einem entsprechenden Automatisierungs-Interface auch in der Produktion zur automatisierten Messung und Auswertung eingesetzt.

Technische Spezifikationen

Messprinzip berührungslos, optisch, dreidimensional, basierend auf Fokus-Variation
Positioniervolumen (X x Y x Z) RL Objektive: mot.: 50 mm x 50 mm x 155 mm (Z: 25 mm mot., 130 mm man.) = 387500 mm³
SXRL/AXRL Objektive: mot.: 50 mm x 50 mm x 120 mm (Z: 25 mm mot., 95 mm man.) = 300000 mm³
Objektivvergrößerung   10x 20x 50x 2xSX 5xAX 10xAX 20xAX 50xSX
Arbeitsabstand mm 17.5 16 10.1 34 34 33.5 20 13
Lateraler Messbereich (X,Y)
(X x Y)
mm
mm²
2
4
1
1
0.4
0.16
10
100
3.61
13.03
2
4
1
1
0.4
0.16
Vertikale Auflösung nm 100 50 20 3500 460 130 70 45
Messgenauigkeit Stufenhöhe (1 mm) % 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Max. messbare Fläche mm² 2500 2500 2500 2500 2500 2500 2500 2500
Min. messbare Rauheit (Ra) µm 0.3 0.15 0.08 n.a. n.a. 0.45 0.25 0.15
Min. messbare Rauheit (Sa) µm 0.15 0.075 0.05 n.a. n.a. 0.25 0.1 0.08
Min. messbarer Radius µm 5 3 2 20 10 5 3 2

Weitere Spezifikationen und Informationen finden Sie im Produktdatenblatt.

Hohe Messpunktdichte

Bis zu 500 Millionen Messpunkte sorgen für eine detailgenaue Messung mit Toleranzen im Bereich von μm und subμm bei großem Arbeitsabstand. Die hohe Messpunktdichte der Fokus-Variation ermöglicht eine gleichbleibend hohe laterale und vertikale Auflösung über große Messvolumina.

 

Steile Flanken über großen Scan-Bereich messen

Licht aus verschiedenen Richtungen beeinflusst die Messung positiv. Der maximal messbare Flankenwinkel ist nicht durch die numerische Apertur der Optik beschränkt. Das ermöglicht die Messung von Oberflächengeometrien mit Flankenwinkeln von bis zu 87°.

Vollständige Formmessung mit Real3D

Mit Real3Dmessen Anwender Oberflächen aus zahlreichen Perspektiven. Einzelne Messungen werden automatisch zu einem vollständigen 3D-Datensatz zusammengeführt. Hochpräzise und kalibrierte Dreh- und Schwenkachsen sorgen für eine automatisierte, wiederholbare und rückführbare Messung am gesamten Messobjekt.

Focus-Variation Technology

Die Fokus-Variation ist ein flächenbasiertes Verfahren zur optischen, hochauflösenden 3D Oberflächenmessung im Mikro- und Nanobereich. Die Technologie kombiniert die Funktionalitäten eines Rauheitsmessgeräts und eines Koordinatenmesssystems. Genutzt wird die geringe Tiefenschärfe einer Optik, um die Tiefeninformation einer Probe zu extrahieren.