InfiniteFocus

Optische Mikrokoordinatenmesstechnik und Rauheitsmessung in einem System

Das Spektrum von messbaren Oberflächen und Materialien ist nahezu unbegrenzt. Anwender messen Mikro- und Präzisionskomponenten mit nur einem multifunktionalen Sensor hochauflösend, rückführbar und in hoher Wiederholgenauigkeit. Die stabile Technologie der Fokus-Variation in Kombination mit dem schwingungsisolierten Aufbau ermöglicht die Messung von Rauheit und Form auch auf großen, schweren Bauteilen. InfiniteFocus wird in Kombination mit einem Automatisierungsinterface auch in der Produktion zur automatisierten Messung und Auswertung eingesetzt.

Technische Spezifikationen

Messprinzip berührungslos, optisch, dreidimensional, basierend auf Fokus-Variation
Positioniervolumen (X x Y x Z) 100 mm x 100 mm x 100 mm = 1000000 mm3 (optional: 200 mm x 200 mm x 100 mm = 4000000 mm³)
Objektivvergrößerung   2.5x 5x 10x HX 10x 20x HX 20x 50x 100x
Arbeitsabstand mm 8.8 23.5 37 17.5 30 19 11 4.5
Lateraler Messbereich (X,Y)
(X x Y)
mm
mm²
5.63
31.7
2.82
7.85
1.62
2.62
1.62
2.62
0.7
0.49
0.81
0.66
0.32
0.10
0.16
0.03
Vertikale Auflösung nm 2300 410 250 100 80 50 20 10
Messgenauigkeit Stufenhöhe (1 mm) % n.a. 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05
Max. messbare Fläche
Optional
mm²
mm²
10000
40000
10000
40000
10000
40000
10000
40000
10000
24780
10000
24780
3965
3965
990
990
Min. messbare Rauheit (Ra) µm 7 1.2 0.75 0.3 0.24 0.15 0.06 0.03
Min. messbare Rauheit (Sa) µm 3.5 0.6 0.375 0.15 0.12 0.075 0.03 0.015
Min. messbarer Radius µm 20 10 5 5 3 3 2 1

Weitere Spezifikationen und Informationen finden Sie im Produktdatenblatt.

Hohe Messpunktdichte

Bis zu 500 Millionen Messpunkte sorgen für eine detailgenaue Messung mit Toleranzen im Bereich von μm und sub-μm bei großem Arbeitsabstand. Die hohe Messpunktdichte der Fokus-Variation ermöglicht eine gleichbleibend hohe laterale und vertikale Auflösung über große Messvolumina.

 

Steile Flanken über großen Scan-Bereich messen

Licht aus verschiedenen Richtungen beeinflusst die Messung positiv. Der maximal messbare Flankenwinkel ist nicht durch die numerische Apertur der Optik beschränkt. Das ermöglicht die Messung von Oberflächengeometrien mit Flankenwinkeln von bis zu 87°.

Vollständige Formmessung mit Real3D

Mit Real3Dmessen Anwender Oberflächen aus zahlreichen Perspektiven. Einzelne Messungen werden automatisch zu einem vollständigen 3D-Datensatz zusammengeführt. Hochpräzise und kalibrierte Dreh- und Schwenkachsen sorgen für eine automatisierte, wiederholbare und rückführbare Messung am gesamten Messobjekt.

Focus-Variation Technology

Die Fokus-Variation ist ein flächenbasiertes Verfahren zur optischen, hochauflösenden 3D Oberflächenmessung im Mikro- und Nanobereich. Die Technologie kombiniert die Funktionalitäten eines Rauheitsmessgeräts und eines Koordinatenmesssystems. Genutzt wird die geringe Tiefenschärfe einer Optik, um die Tiefeninformation einer Probe zu extrahieren.