Messsensor zur einfachen Integration in die Produktion
IF-SensorR25
Der IF-SensorR25 ist ein stabiler optischer 3D Messsensor zur automatischen Messung von Form und Rauheit in der Produktion. Der Messsensor wird in eine Fertigungsstraße integriert und liefert hochauflösende, wiederholgenaue und rückführbare Ergebnisse. Anwender messen Bauteiltoleranzen im μm oder sub-μm Bereich und können in der Produktion denselben Messprozess anwenden wie im Labor. Standardisierte Schnittstellen (z.B. QDAS) schaffen eine einfache und schnelle Integration in die Fertigung. Damit werden Messungen aus dem Labor und der Linie vergleichbar. Der optische 3D Messsensor wird in Kombination mit einem kollaborativen 6-Achs Roboter auch als kollaboratives System (Cobot) zur flexiblen Qualitätssicherung eingesetzt.
Technische Spezifikationen | IF-SensorR25
| Messprinzip | berührungslos, optisch, dreidimensional, basierend auf Fokus-Variation |
| Positioniervolumen (Z) | 25 mm (mot.) |
| Objektivvergrößerung | 10x | 20x | 50x | 2xSX | 5xAX | 10xAX | 20xAX | 50xSX | |
| Arbeitsabstand | mm | 17.5 | 16 | 10.1 | 34 | 34 | 33.5 | 20 | 13 |
|
Lateraler Messbereich (X,Y) (X x Y) |
mm mm² |
2 4 |
1 1 |
0.4 0.16 |
10 100 |
3.61 13.03 |
2 4 |
1 1 |
0.4 0.16 |
| Vertikale Auflösung | nm | 100 | 50 | 20 | 3500 | 460 | 130 | 70 | 45 |
| Messgenauigkeit Stufenhöhe (1 mm) | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| Min. messbare Rauheit (Ra) | µm | 0.3 | 0.15 | 0.08 | n.a. | n.a. | 0.45 | 0.25 | 0.15 |
| Min. messbare Rauheit (Sa) | µm | 0.15 | 0.075 | 0.05 | n.a. | n.a. | 0.25 | 0.1 | 0.08 |
| Min. messbarer Radius | µm | 5 | 3 | 2 | 20 | 10 | 5 | 3 | 2 |
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Hohe Messpunktdichte
Bis zu 500 Millionen Messpunkte sorgen für eine detailgenaue Messung mit Toleranzen im Bereich von μm und subμm bei großem Arbeitsabstand. Die hohe Messpunktdichte der Fokus-Variation ermöglicht eine gleichbleibend hohe laterale und vertikale Auflösung über große Messvolumina.
Steile Flanken über großen Scan-Bereich messen
Licht aus verschiedenen Richtungen beeinflusst die Messung positiv. Der maximal messbare Flankenwinkel ist nicht durch die numerische Apertur der Optik beschränkt. Das ermöglicht die Messung von Oberflächengeometrien mit Flankenwinkeln von bis zu 87°.
Reflektierende Bauteile messen
Die bewährte SmartFlash Technologie von Alicona basiert auf modulierter Beleuchtung und bewirkt, dass jeder Bereich im Messfeld optimal ausgeleuchtet ist. Das ermöglicht die Messung von Werkstücken mit unterschiedlichen Oberflächeneigenschaften und Reflexionsmustern.
Focus-Variation Technology
Die Fokus-Variation ist ein flächenbasiertes Verfahren zur optischen, hochauflösenden 3D Oberflächenmessung im Mikro- und Nanobereich. Die Technologie kombiniert die Funktionalitäten eines Rauheitsmessgeräts und eines Koordinatenmesssystems. Genutzt wird die geringe Tiefenschärfe einer Optik, um die Tiefeninformation einer Probe zu extrahieren.
