快速和直观的3D表面测量

InfiniteFocusSL

 


InfiniteFocusSL 是一款经济型的 3D 光学 测量系统,可以简单、快速、可追溯地对微观表面结构的形貌和粗糙度进行三维测量。仅用一台设备,即可完成零部件的轮廓和粗糙度测量。 此外,还可以提供高精度和大景深的彩色影像。同时, 3 3 m m 的超长工作距离及50X50mm 测量面积,使此设备得到更加广泛的应用。一次测量可以在几秒钟内完成。于此同时,通过使用共轴激光可以实现更加快速和简便的聚焦。InfiniteFocusSL 拥有全自动化界面,从而可以实现在生产线上的全自动测量。

 

技术参数

测量标准 非接触,光学,立体三维,基于Focus Variation 自动变焦技术
定位量 (X x Y x Z) RL型号物镜,自动: 50 mm x 50 mm x 155 mm (Z: 25 mm 自动, 130 mm 手动) = 387500 mm³
SXRL/AXRL 型号物镜,自动: 50 mm x 50 mm x 120 mm (Z: 25 mm 自动, 95 mm 手动) = 300000 mm³
物镜放大倍数 10x 20x 50x 2xSX 5xAX 10xAX 20xAX 50xSX  
工作距离 mm 17.5 16 10.1 34 34 33.5 20 13
横向测量范围 (X,Y)
(X x Y)
mm
mm²
2
4
1
1
0.4
0.16
10
100
3.61
13.03
2
4
1
1
0.4
0.16
垂直分辨率 nm 100 50 20 3500 460 130 70 45
高度精度 (1 mm) % 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
最大可测量范围 mm² 2500 2500 2500 2500 2500 2500 2500 2500
最小测量表面粗糙度 (Ra) µm 0.3 0.15 0.08 n.a. n.a. 0.45 0.25 0.15
最小测量面粗糙度 (Sa) µm 0.15 0.075 0.05 n.a. n.a. 0.25 0.1 0.08
最小测量半径 µm 5 3 2 20 10 5 3 2

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高测量密度

高达5亿个测量点确保超精密测量,同时也可以保证即使在长工作距离下,也能保持公差在微米甚至亚微米范围内。Focus-Variation光学技术的高测量点密度使操作员能够在大范围测量过程中获得始终如一的高横向和纵向分辨率。

 

测量倾斜斜面

 

来自不同方向的光源通过处理可以提高测量效果,从而获得最佳倾斜斜面的数据,也不会受到物镜数值孔径的影响。根据不同的表面特性甚至可以测量达到87度的斜面。

Real3D真实三维测量软件实现全貌测量

通过使用Real3D真实三维测量软件,可以从各个方向测量样品表面。通过将各个单独测量全自动拟合分析可以获得一个三维全貌数据。使用高精度的三维旋转台和倾斜轴可以实现对样品的全自动,可重复,可追溯的测量。

Focus Variation 自动变焦技术

Alicona测量系统基于Focus Variation 自动变焦技术,该技术完美融合了表面粗糙度测量仪器和形貌测量仪器的功能。每一台Alicona测量系统都是一台集合表面测量设备,表面粗糙度测量设备,真实三维测量设备于一体的微米级坐标设备。Focus Variation 自动变焦技术将光学系统的小焦深与垂直扫描相结合,从焦点的变化中提供形貌和颜色信息。该系统的主要组成部分是包含各种镜头部件的精密光学系统,可配备不同的物镜,以不同的分辨率进行测量。