集微三坐标测量和表面形貌测量于一体的光学测量仪

InfiniteFocus

 


InfiniteFocus 是一款高精度、高测量速度且高度自动化的光学3D测量仪。我们实现了在一台测量设备中完美结合了表面结构测量与表面粗糙度测量功能。该设备可以完成几乎所有关于表面测量的任务。设备里配置的多功能传感器可以完成所有高精密零部件复杂表面的测量。该设备的垂直分辨率可以达到10纳米,由此用户可以获得可追溯,高重复性的测量结果。自动变焦技术的高度稳定性,加上防震硬件保证该设备甚至可以测量大件和高重量零部件的形貌和粗糙度。 InfiniteFocus 中所有的轴都设置高精度编码,从而保证工作台实现高精度位移。InfiniteFocus同时配备自动化管理,从而可以实现在生产线上的全自动测量。

 

技术参数

测量标准 非接触,光学,立体三维,基于Focus Variation 自动变焦技术
定位量(X x Y x Z) 100 mm x 100 mm x 100 mm = 1000000 mm3 (其他: 200 mm x 200 mm x 100 mm = 4000000 mm³)
物镜放大倍数 2.5x 5x 10x HX 10x 20x HX 20x 50x 100x  
工作距离 mm 8.8 23.5 37 17.5 30 19 11 4.5
横向测量范围 (X,Y)
(X x Y)
mm
mm²
5.63
31.7
2.82
7.85
1.62
2.62
1.62
2.62
0.7
0.49
0.81
0.66
0.32
0.10
0.16
0.03
垂直分辨率 nm 2300 410 250 100 80 50 20 10
高度精度 (1 mm) % n.a. 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05
可选择最佳测量范围
mm²
mm²
10000
40000
10000
40000
10000
40000
10000
40000
10000
24780
10000
24780
3965
3965
990
990
最小测量表面粗糙度 (Ra) µm 7 1.2 0.75 0.3 0.24 0.15 0.06 0.03
最小测量表面粗糙度 (Sa) µm 3.5 0.6 0.375 0.15 0.12 0.075 0.03 0.015
最小测量半径 µm 20 10 5 5 3 3 2 1

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高测量密度

高达5亿个测量点确保超精密测量,同时也可以保证即使在长工作距离下,也能保持公差在微米甚至亚微米范围内。Focus-Variation光学技术的高测量点密度使操作员能够在大范围测量过程中获得始终如一的高横向和纵向分辨率。

测量倾斜斜面

来自不同方向的光源通过处理可以提高测量效果,从而获得最佳倾斜斜面的数据,也不会受到物镜数值孔径的影响。根据不同的表面特性甚至可以测量达到87度的斜面。

Real3D真实三维测量软件实现全貌测量

通过使用Real3D真实三维测量软件,可以从各个方向测量样品表面。通过将各个单独测量全自动拟合分析可以获得一个三维全貌数据。使用高精度的三维旋转台和倾斜轴可以实现对样品的全自动,可重复,可追溯的测量。

 

Focus Variation 自动变焦技术

Alicona测量系统基于Focus Variation 自动变焦技术,该技术完美融合了表面粗糙度测量仪器和形貌测量仪器的功能。每一台Alicona测量系统都是一台集合表面测量设备,表面粗糙度测量设备,真实三维测量设备于一体的微米级坐标设备。Focus Variation 自动变焦技术将光学系统的小焦深与垂直扫描相结合,从焦点的变化中提供形貌和颜色信息。 该系统的主要组成部分是包含各种镜头部件的精密光学系统,可配备不同的物镜,以不同的分辨率进行测量。