集验证尺寸精度与表面处理质量测量功能于一体的光学测量仪
InfiniteFocusG5 plus
InfiniteFocus 是一款高精度、高测量速度且高度自动化的光学3D测量仪。我们实现了在一台测量设备中完美结合验证零部件尺寸精度和表面粗糙度测量功能。基于Focus Variation自动变焦技术，该设备可以完成几乎所有关于表面测量的任务。由于配备黑科技Vertical Focus Probing垂直聚焦探测软件，此技术是Focus Variation自动变焦技术的拓展，我们实现了在水平层面实现垂直探测。Focus Variation自动变焦技术的高稳定性融合防震硬件，保证设备可以在大型，超重零件表面实现粗糙度和形貌测量。该设备在所有轴上配备高精度编码器从而保证平台精确移动。InfiniteFocus同时配备自动化管理，从而可以实现在生产线上的全自动测量。
技术参数
| 测量标准 | 非接触，光学，立体三维，基于Focus Variation 自动变焦技术, Vertical Focus Probing |
| 定位量(X x Y x Z) | 200 mm x 200 mm x 100 mm = 4000000 mm³ |
| 物镜放大倍数 | 2.5x | 4x | 10x HX | 10x | 20x HX | 20x | 50x | 100x | |
| 工作距离 | mm | 8.8 | 23.5 | 37 | 17.5 | 30 | 19 | 11 | 4.5 |
|
横向测量范围 (X,Y) (X x Y) |
mm mm² |
5.63 31.7 |
2.82 7.85 |
1.62 2.62 |
1.62 2.62 |
0.7 0.49 |
0.81 0.66 |
0.32 0.10 |
0.16 0.03 |
| 垂直分辨率 | nm | 2300 | 410 | 250 | 100 | 80 | 50 | 20 | 10 |
| 高度精度 (1 mm) | % | n.a. | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
|
可选择最佳测量范围 | mm² | 40000 | 40000 | 40000 | 40000 | 24780 | 24780 | 3965 | 990 |
| 最小测量表面粗糙度 (Ra) | µm | 7 | 1.2 | 0.75 | 0.3 | 0.24 | 0.15 | 0.06 | 0.03 |
| 最小测量表面粗糙度 (Sa) | µm | 3.5 | 0.6 | 0.375 | 0.15 | 0.12 | 0.075 | 0.03 | 0.015 |
| 最小测量半径 | µm | 20 | 10 | 5 | 5 | 3 | 3 | 2 | 1 |
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高测量密度
高达5亿个测量点确保超精密测量,同时也可以保证即使在长工作距离下，也能保持公差在微米甚至亚微米范围内。Focus-Variation光学技术的高测量点密度使操作员能够在大范围测量过程中获得始终如一的高横向和纵向分辨率。
测量倾斜斜面
来自不同方向的光源通过处理可以提高测量效果，从而获得最佳倾斜斜面的数据，也不会受到物镜数值孔径的影响。根据不同的表面特性甚至可以测量达到87度的斜面。
Real3D真实三维测量软件实现全貌测量
通过使用Real3D真实三维测量软件，可以从各个方向测量样品表面。通过将各个单独测量全自动拟合分析可以获得一个三维全貌数据。使用高精度的三维旋转台和倾斜轴可以实现对样品的全自动，可重复，可追溯的测量。
Focus Variation 自动变焦技术
Alicona测量系统基于Focus Variation 自动变焦技术，该技术完美融合了表面粗糙度测量仪器和形貌测量仪器的功能。每一台Alicona测量系统都是一台集合表面测量设备，表面粗糙度测量设备，真实三维测量设备于一体的微米级坐标设备。Focus Variation 自动变焦技术将光学系统的小焦深与垂直扫描相结合，从焦点的变化中提供形貌和颜色信息。 该系统的主要组成部分是包含各种镜头部件的精密光学系统，可配备不同的物镜，以不同的分辨率进行测量。
