IF-SensorR25用于车间的光学测量传感器

用于车间自动化形状和粗糙度测量的光学测量系统

光学测量系统IF-SensorR25被集成到生产线上,在测量μm-nm范围内的表面特征时提供高分辨率、可重复和可追踪的结果。因此,IF-SensorR25是一个平台,可以在生产线和测量实验室中使用相同的测量过程。

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技术规格

测量标准 非接触,光学,立体三维,基于Focus Variation 自动变焦技术
定位量 (Z)25 mm (自动)
物镜放大倍数10x20x50x2xSX4xAX*5xAX10xAX20xAX50xSX
工作距离mm17.51610.134303433.52013
横向测量范围 (X,Y)mm210.4 104.873.6210.4
(X x Y)mm² 410.1610023.7213.034 1 0.16
垂直分辨率nm100502035006204601307045
高度精度y (1 mm)%0.10.10.10.10.10.10.1 0.10.1
最小可测量表面轮廓粗糙度 (Ra)µm0.30.150.08n.a.n.a.n.a.0.450.250.15
最小可测量表面粗糙度 (Sa)µm 0.150.0750.05n.a.n.a.n.a.0.250.10.08
最小可测量半径µm532201210532

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