Planparallelitätskontrolle von Piezo-Aktuatoren
Der Einsatz der Piezotechnologie ermöglicht heute die Herstellung von Einspritzsystemen, deren Einspritzverlauf und Einspritzmenge präzise zu steuern sind.
EPCOS, führender Automobilzulieferer und Spezialist in der Piezotechnologie, fertigt Piezo-Aktuatoren zur feinen Dosierung des Kraftstoffverbrauches nach höchsten technologischen Maßstäben. Zur Qualitätskontrolle dieser anspruchsvollen Produkte entwickelte Alicona Imaging eine hochgenaue Prüfanlage. Das optische Mess- und Prüfsystem misst Länge, Ebenheit und Planparallelität der Piezo-Elemente.
Das Messprinzip basiert auf zwei optischen Weißlichtsensoren, welche die Distanzen der Planflächen mit einer Auflösung von 0,02µm in Richtung optischer Achse messen. Die Genauigkeit der Längenmessung beträgt 0,2µm.
Ebenheit und Planparallelität der Piezo-Aktuatoren werden mit einer Genauigkeit von 0,1µm gemessen.
Ein integriertes Kalibrationstool gewährleistet die hohe Genauigkeit der Messungen. Das Mess- und Prüfsystem zur Planparallelität für den Laborbetrieb ist auch für die Inline – Kontrolle geeignet.