IF-SensorR25

Stabile 3D Messungen von der Entwicklung bis zur Produktion

Der IF-SensorR25 ist ein stabiles optisches 3D Messinstrument zur automatisierten Messung von Form und Rauheit in der Produktion. Der Sensor wird direkt in eine Fertigungsstraße integriert und liefert Ihnen so hochauflösende, wiederholgenaue und rückführbare Ergebnisse. Damit ist auch in der Produktion die 3D Messung von Oberflächenmerkmalen im µm oder sub-µm Bereich möglich, die mit traditionellen 2D Lösungen oder taktilen Verfahren oft nicht mehr ausreichend messbar sind.

TECHNISCHE SPEZIFIKATIONEN

Messprinzip

berührungslos, optisch, dreidimensional, basierend auf Fokus-Variation

Positioniervolumen (Z)

25 mm (mot.)

 

Objektivvergrößerung

10x

20x

50

2xSX

5xSX

10xSX

20xSX

50xSX

Arbeitsabstand

17.5 mm

13 mm

10.1 mm

34 mm

34 mm

33.5 mm

20 mm

13 mm

Lateraler Messbereich (X,Y)

(X x Y)

2 mm

4 mm²

1 mm

1 mm²

0.4 mm

0.16 mm²

10 mm

100 mm²

4 mm

16 mm²

2 mm

4 mm²

1 mm

1 mm²

0.4 mm

0.16 mm²

Vertikale Auflösung

100 nm

50 nm

20 nm

3500 nm

510 nm

130 nm

70 nm

45 nm

Messgenauigkeit Stufenhöhe (1 mm)

n.a.

0.05 %

0.05 %

0.05 %

0.05 %

0.05 %

0.05 %

0.05 %

Min. messbare Rauheit (Ra)

0.3 µm

0.15 µm

0.08 µm

n.a.

n.a.

0.45 µm

0.25 µm

0.15 µm

Min. messbare Rauheit (Sa)

0.15 µm

0.075 µm

0.05 µm

n.a.

n.a.

0.25 µm

0.1 µm

0.08 µm

Min. messbarer Radius

5 µm

3 µm

2 µm

20 µm

10 µm

5 µm

3 µm

2 µm

 

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Form und Rauheit mit nur einem System messen

Alicona-Messsysteme bieten die Funktionalitäten eines Oberflächen- als auch Koordinatenmesssystems in einem System. Damit wird Ihre Qualitätssicherung kostengünstiger in der Anschaffung, einfacher in der Ausführung und effizienter in der Aussage.

Steile Flanken messen

Im Gegensatz zu anderen Verfahren wird eine Messung durch Licht aus verschiedenen Richtungen positiv beeinflusst. Ebenso wird der maximale Flankenwinkel nicht durch die numerische Apertur der Optik beschränkt. Das ermöglicht Ihnen Flanken je nach Oberfläche bis zu 87° zu messen.

Unterschiedliche Oberflächenbeschaffenheiten messen

Durch Alicona’s intelligente Beleuchtungstechnologie sind auch Werkstücke mit unterschiedlichen Oberflächeneigenschaften oder Reflexionsmustern schnell und intuitiv messbar. 


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FOKUS-VARIATION TECHNOLOGIE

Die Fokus-Variation ist ein flächenbasiertes Verfahren zur optischen hochauflösenden 3D Oberflächenmessung im Mikro- und Nanobereich. Die Technologie kombiniert die Funktionalitäten eines Rauheitsmessgeräts und eines Koordinatenmesssystems. Genutzt wird die geringe Tiefenschärfe einer Optik, um die Tiefeninformation einer Probe zu extrahieren.

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