Alicona InfiniteFocusSL

InfiniteFocusSL

成本低,速度快并且非常直观

仅借助InfiniteFocusSL一台设备即可实现部件的形貌和粗糙度测量。此外,InfiniteFocusSL还能够缔造出色的,具有极高的对比度和景深的彩色画面。坚固的设计构造和智能化的照明技术确保了能够在生产系统附近使用。该测量系统以其测量成本低,测量速度快,以及实用性而著称。同时具有高工作距离的特点,使其应用非常广泛。测量可在几秒钟内完成,并具有同轴光的快速以及易聚焦的特点,更增强了该仪器的应用性。

技术规格

测量原则

无接触,光学,3D界面,基于无限聚焦变化技术

定位音量 (X x Y x Z)

50 mm x 50 mm x 155 mm (Z: 25 mm mot., 130 mm man.) = 387500 mm3

物镜放大倍率

10x

20x

50x

2xSX

5xAX

10xAX

20xAX

50xSX

工作距离

mm

17.5

16

10.1

34

34

33.5

20

13

横向测量范围 (X,Y)

(X x Y)

mm

mm²

2

4

1

1

0.4

0.16

10

100

3.61

13.03

2

4

1

1

0.4

0.16

垂直分辨率

nm

100

50

20

3500

460

130

70

45

高度精确率 (1 mm)

%

n.a.

0.1

0.1

0.1

0.1

0.1

0.1

0.1

最大测量范围

mm²

2500

2500

2500

2500

2500

2500

2500

2500

最小粗糙度测量 (Ra)

µm

0.3

0.15

0.08

n.a.

n.a.

0.45

0.25

0.15 

最小粗糙度测量 (Sa)

µm

0.15

0.075

0.05

n.a.

n.a.

0.25

0.1

0.08

最小测量半径

µm

5

3

2

20

10

5

3

2

 

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一个系统即能测量形貌和粗糙度

Alicona测量系统能够在一个系统中为用户提供表面测量以及坐标测量系统的各项功能。因此,不仅降低了采购质保系统的成本,而且操作更加简单并且测量结果更加有效。

测量陡直侧壁

来源于不同方向的光线照射样品,通常给测量带来积极的影响 。同样,最大侧壁角不会受到光学器件的数值孔径的限制。因此,依据表面情况,可实现最大87°的侧壁测量。

通过Real3D技术实现完整的形貌测量

具有说服力的质量保证以全方位的测量为前提。Real3D技术通过硬件和软键模块可实现部件的完整形貌测量。此功能可以通过选择不同的测量附件实现。该系列附件具有自动旋转以及转轴倾斜不同角度等功能。


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自动变焦

自动变焦技术是光学垂直扫描与小井深相结合,获得不同高度聚焦的形貌及颜色信息,从而得到样品的3D结构。对形貌和粗糙度测量,包含高达500万测量点,而且这些测量点都是可重复和可追溯的。该技术利用了光学元件焦点的有限景深度。在最新的EN ISO Standard 25178标准中收录了变焦技术。设备的主要组成是能安装多个物镜的高精度光学系统,允许在不同分辨率下进行测量。

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