Alicona InfiniteFocus

InfiniteFocus

同类产品中速度最快的表面形貌和粗糙度测量仪

InfiniteFocus将用于表面形貌测量的微型坐标系统和粗糙度测量仪集于一身。由于采用同轴光和 LED环形灯,可测量表面和材料的范围极其广泛。该产品不仅能够获得高分辨率和可追溯性的结果,而且具备极高的重复精度。所有的表面特性仅通过一个多功能传感器完成测量。大多数测量的测量参数优化设置完全自动完成。因此,也能够十分轻松地实现不同材料和应用的多次和跨部门使用。

技术规格

测量原则

无接触,光学,3D界面,基于无限聚焦变化技术

定位音量 (X x Y x Z)

100 mm x 100 mm x 100 mm = 1000000 mm3 (可选择: 200 mm x 200 mm x 100 mm = 4000000 mm³)

物镜放大倍率

2.5x

5x

10x HX

10x

20x HX

20x

50x

100x

工作距离

mm

8.8 

23.5 

37

17.5

30

19

11

4.5 

横向测量范围 (X,Y)

(X x Y)

mm

mm²

5.63

31.7 

2.82 

7.85 

1.62 

2.62 

1.62

2.62 

0.7

0.49

0.81

0.66 

0.32

0.10

0.16

0.03 

垂直分辨率

nm

2300 

410 

250

100 

80

50

20

10

高度精确率 (1 mm)

%

n.a.

0.05

0.05

0.05

0.05

0.05

0.05

0.05

最大测量范围

可选择

mm²

mm²

10000

40000

10000

40000

10000

40000

10000 

40000

10000

24780

10000

24780

3965

3965

990

990 

最小粗糙度测量 (Ra)

µm

7

1.2

0.75

0.3

0.24

0.15

0.06

0.03 

最小粗糙度测量 (Sa)

µm

3.5

0.6

0.375

0.15

0.12

0.075

0.03

0.015

最小测量半径

µm

20

10

5

5

3

3

2

1

 

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一个系统即能测量形貌和粗糙度

Alicona测量系统能够在一个系统中为用户提供表面测量以及坐标测量系统的各项功能。因此,不仅降低了采购质保系统的成本,而且操作更加简单并且测量结果更加有效。

测量陡直侧壁

来源于不同方向的光线照射样品,通常给测量带来积极的影响 。同样,最大侧壁角不会受到光学器件的数值孔径的限制。因此,依据表面情况,可实现最大87°的侧壁测量。

通过Real3D技术实现完整的形貌测量

具有说服力的质量保证以全方位的测量为前提。Real3D技术通过硬件和软键模块可实现部件的完整形貌测量。此功能可以通过选择不同的测量附件实现。该系列附件具有自动旋转以及转轴倾斜不同角度等功能。


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自动变焦

自动变焦技术是光学垂直扫描与小井深相结合,获得不同高度聚焦的形貌及颜色信息,从而得到样品的3D结构。对形貌和粗糙度测量,包含高达500万测量点,而且这些测量点都是可重复和可追溯的。该技术利用了光学元件焦点的有限景深度。在最新的EN ISO Standard 25178标准中收录了变焦技术。设备的主要组成是能安装多个物镜的高精度光学系统,允许在不同分辨率下进行测量。

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