Alicona SensorR25

IF-SensorR25

确保从开发到生产过程的稳定的3D测量

IF-SensorR25是一种稳定的光学3D测量仪,该测量仪用于在生产中的表面形貌和粗糙度的自动化测量。传感器直接集成安装于生产线上并且为您带来高分辨率、高重复性和具有可回溯性的测量结果。由此,实现了在生产过程中在微米或亚微米范围内对表面特性的3D测量,而通过传统的2D解决方案或接触式设备通常无法达到这样的测量标准。

技术规格

测量原则

无接触,光学,3D界面,基于无限聚焦变化技术

定位音量 (Z)

25 mm (mot.)

物镜放大倍率

10x

20x

50x

2xSX

5xAX

10xAX

20xAX

50xSX

工作距离

mm

17.5

16

10.1

34

34

33.5

20

13

横向测量范围 (X,Y)

(X x Y)

mm

mm²

2

4

1

1

0.4

0.16

10

100

3.61

13.03

2

4

1

1

0.4

0.16

垂直分辨率

nm

100

50

20

3500

460

130

70

45

高度精确率 (1 mm)

%

n.a.

0.1

0.1

0.1

0.1

0.1

0.1

0.1

最小粗糙度测量 (Ra)

µm

0.3

0.15

0.08

n.a.

n.a.

0.45

0.25

0.15 

最小粗糙度测量 (Sa)

µm

0.15

0.075

0.05

n.a.

n.a.

0.25

0.1

0.08

最小测量半径

µm

5

3

2

20

10

5

3

2

 

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一个系统即能测量形貌和粗糙度

Alicona测量系统能够在一个系统中为用户提供表面测量以及坐标测量系统的各项功能。因此,不仅降低了采购质保系统的成本,而且操作更加简单并且测量结果更加有效。

测量陡直侧壁

来源于不同方向的光线照射样品,通常给测量带来积极的影响 。同样,最大侧壁角不会受到光学器件的数值孔径的限制。因此,依据表面情况,可实现最大87°的侧壁测量。

对各种不同表面特性的工件进行测量

借助Alicona的智能照明技术,能够对具有各种不同表面属性或反射模式的工件进行快速和直观的测量。模块化的照明系统使得在测量范围内的每一个区域均能够获得理想的照明效果。


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自动变焦

自动变焦技术是光学垂直扫描与小井深相结合,获得不同高度聚焦的形貌及颜色信息,从而得到样品的3D结构。对形貌和粗糙度测量,包含高达500万测量点,而且这些测量点都是可重复和可追溯的。该技术利用了光学元件焦点的有限景深度。在最新的EN ISO Standard 25178标准中收录了变焦技术。设备的主要组成是能安装多个物镜的高精度光学系统,允许在不同分辨率下进行测量。

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